CVD method and apparatus.,申请号EP20100176491-传众专利搜索

发明名称	CVD method and apparatus.
摘要
申请公布号	EP2253734(A3)	申请公布日期	2011.04.06
申请号	EP20100176491	申请日期	2004.02.19
申请人	CREE, INC.	发明人	SUMAKERIS, JOSEPH;PAISLEY, MICHAEL;O'LOUGHLIN, MICHAEL
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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