发明名称 Compound Semiconductor Epitaxial Wafer and Fabrication Method thereof
摘要
申请公布号 KR101027506(B1) 申请公布日期 2011.04.06
申请号 KR20090012880 申请日期 2009.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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