一种硅片脱胶治具

摘要

本实用新型涉及一种硅片脱胶治具，包括横梁，横梁的数量为两个，两个横梁的下部分别设有支撑架，两个横梁之间设有连接杆，横梁为侧向开口的“U”形槽，两个横梁的“U”形槽开口相对，横梁的上部设有上槽，横梁的下部设有下槽，上槽和下槽的数量分别为若干个，上槽为全槽，下槽为半槽，上槽和下槽的开口方向相同并且与“U”形槽开口方向一致，上槽和下槽对应设置在垂直方向上，两个横梁上的上槽对应设置在同一直线上，两个横梁上的下槽对应设置在同一直线上，两个横梁的上槽之间设有分隔板，分隔板为上宽下窄形，分隔板的上部宽度大于两个横梁的下槽之间的距离，分隔板的下部宽度小于或者等于两个横梁的下槽之间的距离。

主权项

一种硅片脱胶治具，其特征是：所述硅片脱胶治具包括横梁(1)，横梁(1)的数量为两个，两个横梁(1)的下部分别设有支撑架(2)，两个横梁(1)之间设有连接杆(3)。