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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING PARTICLES AND CONTAMINATION BY MATCHING BEAM COMPLEMENTARY APERTURE SHAPES TO BEAM SHAPES
摘要
申请公布号 EP2304764(A2) 申请公布日期 2011.04.06
申请号 EP20090788818 申请日期 2009.06.23
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 GRANT, JOHN;SPLINTER, PATRICK
分类号 H01J37/04;H01J37/05;H01J37/09;H01J37/244;H01J37/317 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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