新型动力传动输电式高压隔离联动轴

摘要

本发明公开了一种动力传动输电式高压隔离联动轴，涉及一种电位隔离和电力传输装置，特别地涉及一种用于离子注入机中从市电向高电位工作区的动力传动输电式高压隔离装置，属于半导体设备领域。此装置中的绝缘传动轴采用环氧玻璃纤维材料，提高了高压隔离联动轴的刚度和绝缘特性，提高了离子注入机的可靠性。该装置包括：一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，所述的其前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3一端相连，绝缘传动轴3另一端通过另一连轴器2与其后端轴4连接。

主权项

一种动力传动输电式高压隔离联动轴装置，是对绝缘传动轴进行材料的改进，采用环氧玻璃纤维材料，此装置包括：一前端轴1、两连轴器2、一绝缘传动轴3、一后端轴4，其特征在于：(1)此绝缘传动轴采用环氧玻璃纤维材料制作而成，具有很高的刚度和绝缘特性；(2)所述的前端轴1通过连轴器2与绝缘传动轴3一端相连，绝缘传动轴3的另一端通过另一连轴器2与一后端轴4相连。