发明名称 | 加热器及加热炉管 | ||
摘要 | 本发明提供了一种加热器及加热炉管,该加热器包括:m根环状电阻丝,相邻的电阻丝间隔一定间距排列;n个固定片,每两根相邻的电阻丝之间具有n/(m-1)个固定片,所述固定片将相邻的两根电阻丝连接在一起,且与同一根电阻丝连接的固定片分别连接电阻丝的不同位置;m和n为自然数,且n>m≥3,n为m-1的整数倍。该加热器及加热炉管减少了加热器及加热炉管容易出现故障的问题。 | ||
申请公布号 | CN102006688A | 申请公布日期 | 2011.04.06 |
申请号 | CN200910194793.4 | 申请日期 | 2009.08.28 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 任瑞龙;李军;刘刚;凌尧 |
分类号 | H05B3/64(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/64(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
主权项 | 一种加热器,包括电阻丝和固定片,其特征在于,包括:m根环状电阻丝,相邻的电阻丝间隔一定间距排列;n个固定片,每两根相邻的电阻丝之间具有n/(m‑1)个固定片,所述固定片将相邻的两根电阻丝连接在一起,且与同一根电阻丝连接的固定片分别连接电阻丝的不同位置;m和n为自然数,且n>m≥3,n为m‑1的整数倍。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |