一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构

摘要

本发明涉及电子回旋共振(ECR)等离子体溅射装置，公开了一种能够方便转换粒子源的ECR等离子体溅射装置的腔体结构。它包括：左真空腔(1)、右真空腔(2)和至少两个靶材腔(3、4)，靶材腔(3、4)连接在左真空腔(1)、右真空腔(1、2)之间，靶材腔(3、4)内设置有靶材，其特征在于，相邻靶材腔(3、4)之间设置有垫圈(5)，垫圈(5)的径向设置有传动杆(17)，传动杆(17)的内端设置有齿轮(18)；相邻的靶材腔(3、4)内设置有一个滑动的挡圈(15)，挡圈(15)的外壁的轴向镶嵌有齿条(16)，齿条(16)与所述齿轮(18)啮合；所述垫圈(5)和传动杆(17)之间设置有动密封装置。

主权项

一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构，包括：左真空腔(1)、右真空腔(2)和至少两个靶材腔(3、4)，靶材腔(3、4)连接在左真空腔(1)、右真空腔(2)之间，靶材腔(3、4)内设置有靶材，其特征在于，相邻靶材腔(3、4)之间设置有垫圈(5)，垫圈(5)的径向设置有传动杆(17)，传动杆(17)的内端设置有齿轮(18)；相邻的靶材腔(3、4)内设置有一个滑动的挡圈(15)，挡圈(15)的外壁的轴向镶嵌有齿条(16)，齿条(16)与所述齿轮(18)啮合；所述垫圈(5)和传动杆(17)之间设置有动密封装置。