基板湿制程液体气泡去除装置

摘要

本实用新型为一种基板湿制程液体气泡去除装置，其包括相连通的至少一气泡滤槽与一沉淀槽，所述气泡滤槽内设有滤棉，可先过滤掉混合液槽内的液体所含的大部分气泡，接着再在所述沉淀槽中使所述液体内剩余的气泡自然上浮，待彻底除去液体内气泡后，便可使近乎无气泡的液体经喷管对基板进行喷洒，确保液体对基板的显影、蚀刻或清洗等效果不会受到气泡的影响。

主权项

一种基板湿制程液体气泡去除装置，其包括至少一气泡滤槽，其特征在于：所述气泡滤槽内部设有一滤棉，所述滤棉将所述气泡滤槽内部分隔为一上部空间及一下部空间，所述气泡滤槽顶部设有与所述上部空间相通的一液体输入口，气泡滤槽底部设有与所述底部空间相通的一液体输出口。