| 发明名称 |
Lithographic apparatus and method for clamping an article |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1530089(B1) |
申请公布日期 |
2011.04.06 |
| 申请号 |
EP20040077936 |
申请日期 |
2004.10.25 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
OTTENS, JOOST JEROEN;ZAAL, KOEN JACOBUS JOHANNES MARIA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
