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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MEASUREMENT OF BEAM ANGLE IN ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号
EP2304765(A1)
申请公布日期
2011.04.06
申请号
EP20090788820
申请日期
2009.06.23
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
MITCHELL, ROBERT;VANDERBERG, BO
分类号
H01J37/317;H01J37/147;H01J37/304
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
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