发明名称 一种三氯氢硅的合成工艺
摘要 本发明涉及一种三氯氢硅的合成工艺。一种三氯氢硅的合成工艺,包括供料进炉、加压反应,本发明的目的是提供加压反应的合理压力值为0.17-0.19MPa,使三氯氢硅的纯度提高到≥90%,转化率达到90%,提高了工作效率和最后产品的质量,且安全性更高。
申请公布号 CN102001669A 申请公布日期 2011.04.06
申请号 CN201010576937.5 申请日期 2010.12.07
申请人 乐山永祥硅业有限公司 发明人 梁进
分类号 C01B33/107(2006.01)I 主分类号 C01B33/107(2006.01)I
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 代理人 方强
主权项 一种三氯氢硅的合成工艺,包括供料进炉、加压反应,其特征在于:所述的加压反应中,三氯氢硅合成炉内反应压力为0.17‑0.19MPa。
地址 614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇新华村