发明名称 一种GaN基发光二极管及其制造方法
摘要 一种GaN基发光二极管及其制造方法,其中,这种GaN基发光二极管的制造方法包括:在衬底上依次形成本征氮化镓层、n型氮化镓层、n型氮化镓铟层、发光层、p型氮化镓铝层和第一p型氮化镓层,该方法还包括:在第一p型氮化镓层上形成异质预处理层;和在异质预处理层上形成第二p型氮化镓层。
申请公布号 CN102005512A 申请公布日期 2011.04.06
申请号 CN200910194799.1 申请日期 2009.08.28
申请人 上海蓝宝光电材料有限公司 发明人 李刚;刘慰华;丁成;张义颖
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 徐申民;吕静姝
主权项 一种GaN基发光二极管的制造方法,该方法包括:在衬底上依次形成本征氮化镓层、n型氮化镓层、n型氮化镓铟层、发光层、p型氮化镓铝层和第一p型氮化镓层,其特征在于,该方法还包括:在所述第一p型氮化镓层上形成异质预处理层;和在所述异质预处理层上形成第二p型氮化镓层。
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