发明名称 |
一种GaN基发光二极管及其制造方法 |
摘要 |
一种GaN基发光二极管及其制造方法,其中,这种GaN基发光二极管的制造方法包括:在衬底上依次形成本征氮化镓层、n型氮化镓层、n型氮化镓铟层、发光层、p型氮化镓铝层和第一p型氮化镓层,该方法还包括:在第一p型氮化镓层上形成异质预处理层;和在异质预处理层上形成第二p型氮化镓层。 |
申请公布号 |
CN102005512A |
申请公布日期 |
2011.04.06 |
申请号 |
CN200910194799.1 |
申请日期 |
2009.08.28 |
申请人 |
上海蓝宝光电材料有限公司 |
发明人 |
李刚;刘慰华;丁成;张义颖 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
徐申民;吕静姝 |
主权项 |
一种GaN基发光二极管的制造方法,该方法包括:在衬底上依次形成本征氮化镓层、n型氮化镓层、n型氮化镓铟层、发光层、p型氮化镓铝层和第一p型氮化镓层,其特征在于,该方法还包括:在所述第一p型氮化镓层上形成异质预处理层;和在所述异质预处理层上形成第二p型氮化镓层。 |
地址 |
201616 上海市松江区文俊路2号 |