用于蒸发器体的初始润湿辅助材料

摘要

初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式。所述初始润湿辅助材料包含铝，所述铝在蒸发器体(1)开始运行之后在蒸发器表面上熔化，并且在熔融状态下与所述蒸发器体(1)中的氮反应，由此在蒸发器表面上形成氮化铝层。所述初始润湿辅助材料还包含润湿剂，通过所述润湿剂有助于熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。

主权项

一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体的蒸发器表面上，所述蒸发器体用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝，并且含有氮作为材料成分，所述辅助材料包含干燥或悬浮形式的粉末混合物，所述粉末混合物包含：粒径小于或等于0.6mm的粉末形式的铝，所述铝在所述蒸发器体开始运行之后在所述蒸发器表面上熔化并与所述蒸发器体中的所述氮反应，由此在所述蒸发器表面上形成氮化铝层，以及粉末形式的润湿剂，通过所述润湿剂能够促使所述熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。