压力测量变换器

摘要

公开了一种前部平齐的干式压力测量变换器，其能够在较大的温度范围实现可靠的测量并且包括：不锈钢制成的过程连接(1，1a，1b)，其用于将压力测量变换器固定在测量位置；和压力传感器模块(3，17，29，41)。该压力传感器模块(3，17，29，41)包括不锈钢支架(5，19，31，43)，金属的隔离薄膜(7，23，35，51)利用纯金属连接而前部平齐地插入在该支架中，待测压力(p)在测量操作期间作用于隔离薄膜(7，23，35，51)的外侧。支架(5，19，31，43)利用纯金属连接而前部平齐地插入过程连接(1，1a，1b)。压力传感器模块(3，17，29，41)还包括由支架(5，19，31，43)支承的钛圆盘(7，27，53)，内部装配了硅传感器(15)的蓝宝石托架(13)位于钛圆盘(7，27，53)上。钛圆盘(7，27，53)形成隔离薄膜(23，35，51)，或者与隔离薄膜(23，35，51)机械连接使得隔离薄膜(23，35，51)的偏转引起钛圆盘(27)的相应偏转。

主权项

压力测量变换器，包括：‑不锈钢制成的过程连接(1，1a，1b)，其用于将所述压力测量变换器固定在测量位置；‑压力传感器模块(3)，其包括‑‑不锈钢制成的支架(5)，‑‑‑金属的隔离薄膜(7)利用纯金属连接而前部平齐地装入所述支架中，在测量操作期间待测压力(p)作用于该隔离薄膜的外侧面，‑‑‑所述支架利用纯金属连接而前部平齐地装入所述过程连接(1，1a，1b)；和‑‑由所述支架(5)支承的钛圆盘(7)，‑‑‑内嵌有硅传感器(15)的蓝宝石托架(13)位于钛圆盘上，并且‑‑‑钛圆盘形成所述隔离薄膜(7)。