用于测量半导体衬底传送盒的污染的站和方法

摘要

本发明涉及用于测量用于传送和大气保存半导体衬底的传送盒的微粒污染的测量站，该盒包括能通过可拆卸入口门被关闭的外壳，该站包括：接口(5)，其连至传送盒外壳(3)而不是门，该接口包括设于导管活动端的至少一个喷嘴(9)，该导管从该接口伸出以在与连至测量站的外壳内部(10)的一部分壁(13)垂直的方向中引导气体射流，从而借助于气体射流对壁(13)的冲击而使得微粒(11)从外壳分离；和测量设备(7)，其包括真空泵(17)、微粒计量器(19)和测量管道(21)，该管道的入口(23)通往外壳(3)内部(10)而其出口(25)连至真空泵(17)，该管道(21)还连至微粒计量器(19)以创建连至测量站的传送盒的外壳(3)内部(10)与微粒计量器(19)之间的连通。本发明还涉及一种用于测量用于传送和大气保存半导体衬底的传送盒的微粒污染的方法。

主权项

一种用于测量用于传送和大气保存半导体衬底的传送盒的微粒污染的测量站，所述盒包括能够借助于可拆卸入口门而关闭的外壳，所述站包括：‑接口，其能够连至所述传送盒的外壳而不是所述门，所述接口包括安排在导管的一个活动端上的至少一个喷嘴，所述导管从所述接口伸出以在与连至所述测量站的外壳的内部的壁的一部分相垂直的方向中引导气体射流，从而借助于该气体射流对所述壁的冲击而使得微粒从所述外壳分离，和‑测量设备，其包括真空泵、微粒计量器和测量管道，该测量管道的入口通往所述外壳的内部并且其出口连至所述真空泵，所述测量管道还连至所述微粒计量器以创建在连至所述测量站的传送盒的外壳的内部与所述微粒计量器之间的连通。