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发明名称 Manufacturing method for thin film transistor array panel
摘要
申请公布号 KR101026808(B1) 申请公布日期 2011.04.04
申请号 KR20040030425 申请日期 2004.04.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/00;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/423;H01L29/76;H01L29/94;H01L31/062;H01L31/113;H01L31/119 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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