发明名称 PROCEDE DE FORMATION DE NANO-FILS
摘要
申请公布号 FR2941688(B1) 申请公布日期 2011.04.01
申请号 FR20090050573 申请日期 2009.01.30
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 NEEL DELPHINE;FERRET PIERRE;GETIN STEPHANE
分类号 B82B3/00;H01L21/00 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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