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发明名称 Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE102010040441(A1) 申请公布日期 2011.03.31
申请号 DE20101040441 申请日期 2010.09.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 NAKATA, KAZUNARI;MOTONAMI, KAORU;NARAZAKI, ATSUSHI;ONOYAMA, AYUMU;HONDA, SHIGETO;FUJII, RYOICHI;HIRATA, TOMOYA
分类号 H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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