Vorrichtung zum Betrieb eines mikromechanischen Federbalkens und Messanordnung mit einem solchen Federbalken,申请号DE200710059977-传众专利搜索

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发明名称	Vorrichtung zum Betrieb eines mikromechanischen Federbalkens und Messanordnung mit einem solchen Federbalken
摘要
申请公布号	DE102007059977(B4)	申请公布日期	2011.03.31
申请号	DE200710059977	申请日期	2007.12.11
申请人	CONCENTRIS GMBH	发明人	BATTISTON, FELICE MAURO
分类号	B81B7/02;G01M7/02;H03L7/099	主分类号	B81B7/02
代理机构		代理人
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