摘要 |
Beleuchtungsoptik mit einem Kollektorspiegel, der eine Polarisationsverteilung erzeugt, mit der das erste facettierte optische Element während des Betriebs der Beleuchtungsoptik beaufschlagt wird, wobei es mindestens zwei erste Facettenelemente gibt, die mit Strahlung unterschiedlicher Polarisation beaufschlagt werden und weiterhin das erste facettierte optische Element mindestens einen ersten Zustand aufweist, in dem die Normalenvektoren der reflektiven Flächen der ersten Facettenelemente derart ausgewählt sind, dass sich während des Betriebs der Beleuchtungsoptik am Ort des Objektfeldes eine erste vorbestimmte Polarisationsverteilung ergibt.
|