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Die Erfindung betrifft ein elektrooptisches Bauelement (1, 2, 3, 4, 5, 6) - insbesondere Strahlungsquelle, Detektor und/oder Modulator - zur optischen Signalerzeugung, Modulation bzw. Detektion im Millimeterwellenlängenbereich, Terahertz (THz)-Frequenzbereich und/oder Infrarotbereich, mit einer Silizium und/oder Germanium basierten Anordnung (100, 200, 300, 400, 500, 600), vorzugsweise als Wellenleiteranordnung. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Silizium und/oder Germanium basierte Anordnung (100, 200, 300, 400, 500, 600) aufweist: - ein Silizium- und/oder Germaniummaterial (102, 202, 302, 402, 502, 602) mit einer Oberfläche (101, 201, 301, 401, 501, 601); wobei - die Oberfläche (101, 201, 301, 401, 501, 601) mit einer Halogenanreicherung chemisch modifiziert und mit dem Silizium- und/oder Germaniummaterial (102, 202, 302, 402, 502, 602) elektrooptisch aktiviert ist.
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