化学气相淀积反应器

摘要

本实用新型涉及一种化学气相淀积反应器，包括反应腔底盘、放置在反应腔底盘上的衬底载盘、以及反应腔壁；反应腔壁与衬底载盘之间形成非环形反应室，至少一股气流由位于反应室一侧对应的气体入口进入反应室，通过衬底载盘上方的反应室后由位于反应室另一侧的尾气出口排出反应室，衬底载盘相对于气流流动方向倾斜设置，使得反应室垂直于气体流动方向的反应室截面面积沿气体流动方向呈线性或者非线性减小，由此产生的气体会聚效应能有效补偿反应剂耗尽效应所导致的化学气相淀积速度的变化，具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，使用该反应器进行化学气相淀积具有效率高、耗源少、重复性、再现性和一致性好等优点。

主权项

一种化学气相淀积反应器，包括非圆柱形反应腔，所述非圆柱形反应腔包括反应腔底盘、放置在所述反应腔底盘上的衬底载盘、以及反应腔壁；所述反应腔壁与所述衬底载盘之间形成非环形反应室，至少一股气流由位于所述反应室一侧对应的气体入口进入所述反应室，通过所述衬底载盘上方的反应室后由位于所述反应室另一侧的尾气出口排出所述反应室，其特征在于：所述衬底载盘相对于所述气流流动方向倾斜设置，并且所述反应室垂直于气流流动方向上的截面面积沿气流流动方向减小。