利用衬底进行加工的基板结构及其制造方法

摘要

本发明提出了一种基板结构及其制造方法。该基板结构包括基板阵列，所述基板阵列包括按照预定方向排列的多个基板，每个所述基板包括第一表面和与其相对的第二表面；分别设置在所述基板的第一表面和第二表面的外侧的多个基片，其中：对于相间隔的基板的每一个，其第二表面与其一侧的相邻基板的第二表面共用一个基片，以形成第一沟槽，且其第一表面与其另一侧的相邻基板的第一表面共用另一个基片，以形成第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽开口方向相反；从所述多个基板的第一表面横跨所有第一沟槽的第一支架桥。本发明有效地利用了衬底的厚度，提高了晶片的表面积利用率，支架桥减小了相邻基板相互粘连的可能性。

主权项

一种利用衬底进行加工的基板结构，所述结构包括：基板阵列，所述基板阵列包括按照预定方向排列的多个基板，每个所述基板包括第一表面和与其相对的第二表面；多个基片，所述多个基片分别设置在所述基板的第一表面和第二表面的外侧，其中：对于相间隔的基板的每一个，其第二表面与其一侧的相邻基板的第二表面共用一个基片，以形成第一沟槽，且其第一表面与其另一侧的相邻基板的第一表面共用另一个基片，以形成第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽开口方向相反，以使所述基板结构形成长城型结构；第一支架桥，所述第一支架桥从所述多个基板的第一表面横跨所有第一沟槽，以稳定长城型结构的相邻基板。