含羧基超支化聚（胺-酯）丙烯酸酯及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于光致抗蚀剂的含羧基超支化聚（胺-酯）丙烯酸酯及其制备方法，特征是先由多元醇和支化单体，通过“逐步法”合成了不同代数的超支化聚(胺-酯)，再利用单羟基丙烯酸酯和二异氰酸酯反应得到半加成产物。再将这种半加成产物与马来酸酐按一定比例与端羟基超支化聚(胺-酯)反应，得到含有羧基的超支化聚（胺-酯）丙烯酸酯。本发明合成的产物具有粘度低、成膜性好、固化膜的收缩率小等特点，并且由于羧基的引入具有更好的碱溶性，可以得到具有较高分辨率的清晰图像，从而能更好地满足其作为光致抗蚀剂的需要。

主权项

1.一种含羧基超支化聚（胺-酯）丙烯酸酯，其特征在于：羧基基团和丙烯酸酯基团分别通过马来酸酐和单羟基丙烯酸酯与二异氰酸酯的半加成产物连接到超支化聚（胺-酯）分子骨架结构上，其分子通式为：式中：HBP为超支化聚（胺-酯）骨架分子，R₁为异氰酸酯的烷基基团，R₂为单羟基丙烯酸酯的烷基基团；x和y为正整数，二者之和为2至超支化聚（胺-酯）羟基官能团之间的整数。