锡焊用保护气测量装置

摘要

本发明提供一种锡焊用保护气测量装置。该锡焊用保护气测量装置即使在使可燃性气体吸附用的过滤器再生时输送到氧气浓度计的保护气停止，也能够不会对氧气浓度计施加负荷地维持使氧气浓度计工作的状态。包括使空转用气体通过对保护气的氧气浓度进行计量的氧气浓度计(7)的空转用配管系统(50)。利用该构造，即使在使活性炭过滤器(4)等再生时输送到氧气浓度计(7)的保护气停止，也能够利用设置在氧气浓度计(7)的内部的泵引入空转用气体，因此，能够不对氧气浓度计施加负荷地维持使氧气浓度计(7)工作的状态。

主权项

一种锡焊用保护气测量装置，其特征在于，包括：浓度测量用配管系统，其用于使充满于锡焊装置的腔室内的保护气经由过滤器到达氧气浓度计；再生用配管系统，其用于使再生用气体通过上述过滤器；空转用配管系统，其用于使空转用气体通过上述氧气浓度计；切换部件，其用于自上述浓度测量用配管系统的路径切换为上述再生用配管系统及上述空转用配管系统的路径。