| 发明名称 | SrTiO<sub>3</sub>膜的成膜方法 | ||
| 摘要 | 当将基板配置在处理容器内，对基板进行加热，将Sr原料、Ti原料和氧化剂以气体状态导入上述处理容器内，使这些气体在被加热的基板上反应，在基板上形成SrTiO3膜时，使用Sr的胺化合物或Sr的亚胺化合物作为Sr原料。 | ||
| 申请公布号 | CN101542695B | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200880000105.X | 申请日期 | 2008.02.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 柿本明修;河野有美子 |
| 分类号 | H01L21/316(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/316(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种SrTiO3膜的成膜方法，其特征在于，包括：将基板配置在处理容器内的工序；对基板进行加热的工序；和将气体状态的Sr原料、气体状态的Ti原料和气体状态的氧化剂导入所述处理容器内的工序，其中，使用C24H46N4Sr或C26H50N4Sr所示的化合物作为所述Sr原料，使这些Sr原料、Ti原料和氧化剂在被加热的基板上反应，在基板上形成SrTiO3膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||