| 发明名称 | 用于制造具有带有纹理表面的透明传导氧化物层的多层结构的工艺和借此制成的结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于制造具有带有纹理表面的透明传导氧化物(TCO)层的多层结构的新颖工艺，其包括形成富含金属的TCO层。本发明的所述工艺尤其可用于制造光伏电池。在通过本发明的所述工艺制成的装置中，TCO层的所述纹理表面可维持高粗糙度，同时消除了由于对所述TCO层的过分蚀刻而引起的界面效应。 | ||
| 申请公布号 | CN101997040A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN201010253661.7 | 申请日期 | 2010.08.12 |
| 申请人 | 杜邦太阳能有限公司 | 发明人 | 林于庭;黄士哲;徐文凯 |
| 分类号 | H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/0224(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 刘国伟 |
| 主权项 | 一种多层结构，其包括：(a)衬底，(b)第一透明传导氧化物(TCO)层，(c)富含金属的第二TCO层，以及(d)任选地第三TCO层，其中所述第二TCO层的至少一部分和存在情况下的所述第三TCO层的至少一部分经蚀刻以形成纹理表面。 | ||
| 地址 | 中国香港新界白石角香港科学园科技大道西8号尚湖楼西5楼501-509 | ||