包括感光材料的衍射激光光束均匀器及其制作方法

摘要

本发明提供了一种包括感光材料的衍射激光光束均匀器及其制作方法，其中，制造多个衍射光学元件的方法包括：提供部分透射载片，提供第一PTR玻璃片，以及引导第一UV辐射通过部分透射载片以照射在第一PTR玻璃片上。该方法还包括将第一PTR玻璃片的预定部分暴露于第一UV辐射，以及热处理曝光后的第一PTR玻璃片。该方法还包括提供第二PTR玻璃片，以及引导第二UV辐射通过热处理后的第一PTR玻璃片以照射在第二PTR玻璃片上。该方法另外包括将第二PTR玻璃片的预定部分暴露于第二UV辐射，热处理曝光后的第二PTR玻璃片，以及使用另外的PTR玻璃片重复第二PTR玻璃片的提供和处理。

主权项

一种光学系统，包括：衍射光学元件，其沿光束路径布置，并且具有输入表面、与所述输入表面相对的输出表面以及在所述输入表面与所述输出表面之间延伸的预定厚度，其中，所述衍射光学元件包括光热折变材料，并且其中，所述输入表面处的激光光束强度分布由第一强度分布表征；透镜，其沿所述光束路径距所述输出表面预定距离而布置，并且能够操作用以接收离开所述输出表面的激光光束，其中，所述透镜的表面处的激光光束强度分布由第二强度分布表征；以及传播路径，其沿所述光束路径从所述透镜延伸到目标位置，其中，所述目标位置处的激光光束强度分布由变化小于10％的第三强度分布表征。