一种利用超声波作用封装微结构器件的方法

摘要

一种超声波作用封装微结构器件的方法，本发明以乙醇作为溶剂，通过控制操作温度和超声作用时间，在超声装置中实现了以有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯，PMMA)为基板，与包括聚四氟乙烯、石英玻璃、金属等在内的多种材料复合的微结构器件的封装。所实现的微结构器件包括：聚四氟乙烯同轴环管微通道、石英玻璃同轴环管微通道、金属膜分散微结构设备等，所有微器件均为内部可视化的，可通过在线显微设备进行内部流动的实时观测。本方法相对其他方法来说成本低廉，简便易行，稳定性好，产品适用范围广。

主权项

一种利用超声波作用封装微结构器件的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)使用两块有机玻璃板分别作为上基板和下基板，在上基板和下基板上同时加工出，或仅在下基板上加工出与要封装的微结构器件形状相对应的内部结构；2)然后将要封装的微结构器件固定在两块有机玻璃板之间；3)将固定好的待封装微结构器件放到盛有乙醇的容器中，将容器置于超声装置内；4)控制超声装置内的温度为40～80℃，控制超声波工作的时间为5～120分钟；5)将待封装微结构器件取出，放入烘箱将乙醇烘干，即完成封装。