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经营范围
发明名称
Improved magnetron sputtering system for large-area substrates
摘要
申请公布号
EP1746181(A3)
申请公布日期
2011.03.30
申请号
EP20050027110
申请日期
2005.12.12
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
WHITE, JOHN;HOSOKAWA, AKIHIRO;LE, HIENMINH H.;INAGAWA, MAKOTO
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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