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发明名称 RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1953595(A4) 申请公布日期 2011.03.30
申请号 EP20060823478 申请日期 2006.11.20
申请人 JSR CORPORATION 发明人 NAKAMURA, ATSUSHI;WANG, YONG;TSUJI, TAKAYUKI
分类号 G03F7/039;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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