静电式夹具

摘要

一种静电式夹具，包含一个夹持本体、一个电极，及一个烧结型结晶陶瓷管。该夹持本体包括一个基材、一个叠置在该基材的顶面且供该电极埋置的静电吸附层，及一个贯穿该基材与该静电吸附层的气体通道，该气体通道具有一个贯穿该静电吸附层且延伸入该基材的顶部的上段部，及一个自该上段部的底端延伸至该基材的底面的下段部。该烧结型结晶陶瓷管能拆装地塞置在该下段部中，其与该下段部的长度比值介于0.25及1之间，则能有效抑制该下段部处发生的电弧放电现象，同时方便后续维护作业的进行，确保整体维持良好的静电吸附夹持效果。

主权项

一种静电式夹具，包含一个夹持本体，以及一个电极，该夹持本体包括一个基材、一个叠置在该基材的顶面且供该电极埋置其中的静电吸附层，以及一个贯穿该基材与该静电吸附层的气体通道，该气体通道具有一个贯穿该静电吸附层且延伸入该基材的顶部的上段部，以及一个自该上段部的底端延伸至该基材的底面的下段部；其特征在于：该静电式夹具还包含一个能拆装地塞置在该气体通道的下段部中的烧结型结晶陶瓷管，该烧结型结晶陶瓷管与该下段部的长度比值介于0.25与1之间。