发明名称 一种半导体芯片结形貌显现方法
摘要 本发明公开了一种半导体芯片结形貌显现方法,为了解决现有技术中结形貌的显现操作较为复杂的问题,本发明公开的方法包括:用化学试剂将芯片基板上方的电路结构全部去除,仅留下芯片基板;对芯片基板切片;将切片后的芯片基板浸入染色试剂中预定时间后取出,若对芯片基板中的结位置进行切片,则显现芯片基板染色后的结形貌。利用染色试剂染色实现结形貌的显现,因此操作较为简单。
申请公布号 CN101995351A 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN200910090572.2 申请日期 2009.08.27
申请人 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 发明人 金波
分类号 G01N1/32(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I 主分类号 G01N1/32(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 郭润湘
主权项 一种半导体芯片结形貌显现方法,其特征在于,包括:用化学试剂将芯片基板上方的电路结构全部去除,仅留下芯片基板;对芯片基板切片;将切片后的芯片基板浸入染色试剂中预定时间后取出,当对芯片基板中的结位置进行切片时,显现结形貌。
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