| 发明名称 | 颗粒控制的方法 | ||
| 摘要 | 一种颗粒控制的方法，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；在任意四个连续特性值中有两个超过颗粒个数的允许上限值，另外两个特性值中至少一个位于堆积区，判定为颗粒超标。本发明能够及时的对晶圆表面及工艺环境进行清洁，提高了产品的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN101996851A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200910056734.0 | 申请日期 | 2009.08.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王邕保;郭景宗;三重野文健;金钟雨 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种颗粒控制的方法，其特征在于，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；在任意四个连续特性值中有两个特性值超过颗粒个数的允许上限值，另外两个特性值中至少一个位于堆积区，判定为颗粒超标。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||