有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法

摘要

本发明提供一种不会发生有机蒸镀材料的组成变化、分解、变质的蒸镀装置。在输送装置(30a、30b)上载置一张基板量的有机蒸镀材料，将其搬入到预先加热的蒸镀容器(12)内。由于有机蒸镀材料按每个基板而少量地被加热，放出有机材料蒸汽而用尽，所以，缩短了被加热的时间，不会发生基于水分的分解与变质。即使混合有不同的有机化合物，混合组成也不会变化，因此，可以预先将混合有母材和发色剂的有机蒸镀材料贮留在贮留槽(34a、34b)中，然后配置到输送装置(30a、30b)。

主权项

一种蒸镀装置，其特征在于，具有：真空槽；配置在前述真空槽的内部、具有多个放出口的蒸镀容器；配置蒸镀材料的供给装置；与前述蒸镀容器和前述供给装置连接的搭载槽；能够在前述搭载槽内与前述真空槽内之间移动，当位于前述搭载槽内时，从前述供给装置供给前述蒸镀材料、将前述蒸镀材料输送到前述蒸镀容器的内部的输送装置；从前述蒸镀容器的内部气氛隔离前述搭载槽的内部气氛的隔离板；和对前述蒸镀容器进行加热，从位于前述蒸镀容器内的前述蒸镀材料产生材料蒸汽，从前述放出口向前述真空槽内放出前述材料蒸汽的加热装置。