新型改良的离子源

摘要

本发明公开了一种用于产生离子流的示例性离子源，所述离子源具有至少部分地界定电弧室的离子化区的铝合金电弧室主体。电弧室主体和热丝状体电弧室壳体一起使用，所述热丝状体电弧室壳体或者直接或者间接地将阴极加热到足够的温度，以使电子流动通过电弧室的离子化区。温度传感器监测电弧室内的温度，并提供与感测的温度相关的信号。当传感器进行测量时控制器监测感测的温度，并调节温度以将感测的温度保持在一范围内。

主权项

一种用于产生离子流的离子源，所述离子源包括：至少部分地界定电离区的铝合金电弧室壳体，高能量电子从导热体移动通过所述电离区以离子化注射到所述壳体内部内的气体分子，和控制电路，所述控制电路将所述电弧室壳体的操作温度保持到400℃‑550℃的范围内。