压电阀

摘要

一种压电阀，能够同时解决确保阀芯和阀体的保持部上的可靠性、扩大压电元件的变位量、提高闭阀压力等问题。本发明的压电阀，包括具有阀室的阀体(2)和由随着外加电压而弯曲变位来开闭流路口(3)的压电元件构成的阀芯(1)。压电元件(1)形成长方形，其长度方向两端部被固定保持在阀体(2)上。压电元件(1)具有侧的第一区域(S1)和两端侧的第二区域(S2)，通过外加电压而使第一区域(S1)和第二区域(S2)向反方向弯曲变位。压电元件(1)的部开闭流路口(3)。

主权项

一种压电阀，包括：具有开闭流路口的阀体；由板状的压电元件构成的阀芯，该压电元件随着外加电压而沿板厚方向弯曲变位，并利用该弯曲变位开闭所述开闭流路口，所述压电阀的特征在于，所述压电元件的两端部或外周部被固定保持在所述阀体上，所述压电元件具有中央侧或中心侧的第一区域和两端侧或周边侧的第二区域，利用对所述压电元件外加的电压使所述第一区域和所述第二区域向反方向弯曲变位，所述压电元件形成长方形，所述压电元件的长度方向两端部被固定保持在所述阀体上，在所述压电元件的宽度方向两侧部和所述阀体之间设有流体的连通部，所述压电元件的表面侧的区域和背面侧的区域经由所述连通部连通，所述阀体包括：比所述压电元件宽度宽的长方形平板状的底板、配置在所述底板的上表面且内部宽度尺寸比压电元件宽度宽的长方形框状的第一框体、配置在所述第一框体的宽度方向两侧部的上表面且具有与压电元件厚度同等厚度的一对压板、配置在所述压电元件及压板的上表面且与第一框体相同形状的第二框体、配置在所述第二框体的上表面的顶板，所述压电元件的长度方向两端部由所述第一框体及第二框体的长度方向两端部夹持，所述底板、第一框体、压电元件、压板、第二框体和顶板层叠粘接，在所述底板和顶板之间形成压电元件能够变位的阀室。