一种电容式线性位移测量的装置和方法

摘要

本发明提供了一种电容式线性位移测量的装置和方法，其中，条状电极等间距并排排列在基底上，且每N个连续的条状电极构成一个空间周期，N条信号线构成第一组信号线，N为大于或等于2的整数；在绝对位移测量模式下，一个信号发生周期内所述第一组信号线中的N条信号线被依次加载激励信号；各条状电极与第一组信号线之间的连接使得绝对位移测量模式下读取单元在各位移处探测到的激励信号组合均不相同；读取单元沿着条状电极移动，输出在其覆盖的条状电极上探测到的信号组合，并提供给位移确定单元确定该信号组合对应的绝对位移量。本发明能够更加简单地实现绝对位移测量，且成本低，抗干扰能力强。

主权项

一种电容式线性位移测量的装置，该装置包括：位移标尺单元、读取单元和位移确定单元；其特征在于，所述位移标尺单元包括基底、M个相同的条状电极和第一组信号线，M为大于或等于4的整数；所述M个条状电极等间距并排排列在所述基底上，且每N个连续的条状电极构成一个空间周期，所述第一组信号线由N条信号线构成，N为大于或等于2的整数；在绝对位移测量模式下，一个信号发生周期内所述第一组信号线中的N条信号线被依次加载激励信号；所述各条状电极与所述第一组信号线之间的连接使得绝对位移测量模式下读取单元在各位移处探测到的激励信号组合均不相同；所述读取单元，用于沿着所述M个条状电极移动，并在绝对位移测量模式下覆盖R个条状电极，探测其覆盖的条状电极上加载的激励信号，输出探测到的信号组合；其中，R为大于或等于N的整数；所述位移确定单元，用于在绝对位移测量模式下，利用预设的信号组合与位移量之间的对应关系，确定所述读取单元输出的信号组合对应的位移量。