一种单晶炉加料器

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉加料器，该装置的钼制中轴位于石英筒体内，且通过径向支撑架活动固定在石英筒体内，在钼制中轴尾部连接有锥状的石英锤，且石英锤的最大锥径大于石英筒体的筒径。采用本实用新型，可将锥状的石英锤缓缓打开，让硅料缓慢加入到硅液中，就不会形成飞溅现象，且采用石英和钼材料制作加料器各部件，在高温中不会形成污染。

主权项

一种单晶炉加料器，包括石英筒体、钼制中轴，钼制中轴位于石英筒体内，且钼制中轴通过径向支撑架活动固定在石英筒体内，其特征在于在钼制中轴的尾部连接有锥状的石英锤，且石英锤的最大锥径大于石英筒体的筒径。