发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING METHOD
摘要
申请公布号 KR101025688(B1) 申请公布日期 2011.03.30
申请号 KR20080093560 申请日期 2008.09.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/02;H01L21/683 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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