发明名称 |
碱溶性聚合物、包含其的感光性树脂组合物及其用途 |
摘要 |
本发明提供碱溶性聚合物、包含其的感光性树脂组合物及其用途,详细来说,提供固化收缩低(固化时残膜率高)的碱溶性聚合物、及固化后的图案形状优异的感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置及发光装置。本发明的碱溶性聚合物,该碱溶性聚合物具有由选自由多元羧酸及其衍生物组成的组中的至少一种羧酸化合物与多元氨基化合物合成的结构,以及具有交联基、且能与前述多元羧酸或其衍生物反应的化合物由来的含交联基结构。 |
申请公布号 |
CN101993537A |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN201010254899.1 |
申请日期 |
2010.08.12 |
申请人 |
旭化成电子材料株式会社 |
发明人 |
涩井智史;金田隆行;汤之口智惠 |
分类号 |
C08G73/10(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/3105(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I |
主分类号 |
C08G73/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种碱溶性聚合物,其具有:由选自由多元羧酸及其衍生物组成的组中的至少一种羧酸化合物与多元氨基化合物合成的结构,以及具有交联基、且能与所述多元羧酸或其衍生物反应的化合物由来的含交联基结构。 |
地址 |
日本东京都 |