基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法。在碳纳米管阵列的上下两端分别置有一块平板电极构成电容式气体传感器结构，通过化学气相沉积的方法在阳极氧化铝模板中制备的碳纳米管阵列作为两平板电极的支撑结构，使得两块平板电极之间具有微米级的间距，流过电容传感器两平板电极间气体介电常数的变化由传感器的电容变化量反映出来，可以据此判断被测气体的种类。本发明克服了现有气体传感器的不足之处，有效缩短了电容传感器两平板间距，提高了传感器对气体检测的灵敏度。

主权项

一种基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器，包括两极板及其之间的介质，其特征在于：所述两极板为具有微米级间距的上下两块平板电极(2)，所述介质为碳纳米管和空气，所述碳纳米管的管径为10～200nm、管壁厚为1～50nm、管长为1～20μm，所述碳纳米管为碳纳米管阵列(1)，在碳纳米管阵列(1)的上下两端分别置有一块平板电极(2)构成基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器结构；检测气体时，将所述基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器的上下两块平板电极(2)与电容测试仪的两电极电连接，流过所述两平板电极(2)间气体介电常数的变化由电容测试仪上的电容变化量反映出来，据此判断被测气体的种类。