发明名称 |
压电元件驱动式金属隔膜型控制阀 |
摘要 |
本发明提供一种压电元件驱动式金属隔膜型控制阀。在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制,并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成:形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7;设置在阀室7a′内,可落入或离开阀座7c的金属隔膜8;固定在阀体7侧的致动器壳体10;设置在致动器壳体10内,因电压的施加而向下方伸长,通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13;在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长,并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14;在压电元件13上常时施加向上的压力,并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。 |
申请公布号 |
CN101994870A |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN201010226949.5 |
申请日期 |
2006.11.13 |
申请人 |
株式会社富士金 |
发明人 |
松本笃咨;平田薰;土肥亮介;池田信一;西野功二 |
分类号 |
F16K31/02(2006.01)I;F16K7/14(2006.01)I |
主分类号 |
F16K31/02(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
何欣亭;李家麟 |
主权项 |
一种压电元件驱动式金属隔膜型控制阀,设有通过压电元件(13)的伸长经由隔膜压塞(12)向阀座(7c)坐落或从阀座(7c)离开的金属隔膜(8),其特征在于,配设在压电元件(13)和金属隔膜(8)之间的碟形弹簧机构(14)由下列部分构成:隔膜压塞支承座(22),其下端部插入隔膜压塞(12),上端部形成上方敞开的收容空间(22b);多个碟形弹簧(23),配设在隔膜压塞支承座(22)的收容空间(22b);滚珠支承(24),置放在最上位的碟形弹簧(23)的上面,位于压电元件(13)的下方,将压电元件(13)的伸长向碟形弹簧(23)传递;以及弹簧调整用螺母(25),调整碟形弹簧(23)的反弹力并防止滚珠支承(24)及碟形弹簧(23)脱出地螺接于隔膜压塞支承座(22)。 |
地址 |
日本大阪府 |