狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔

摘要

本发明涉及狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，该反应包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，开有一大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。本发明有效的改善了电场分布，产生的等离子体更加均匀，在腔体中心部位也能存在。

主权项

一种狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，还开有大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。