物体位置测量装置及方法

摘要

本发明采用了直接扫描测量的思想，提出了全曝光场测量方案，所需照明结构简单，直接采用扫描组和一种光学补偿结构来实现整个曝光场范围内全覆盖的扫描测量，大幅度提高了测量精度。简要原理如下：扫描组实现光点在硅片面曝光场上的全场扫描，光学补偿结构确保曝光场上的扫描点成像清晰和最终的测量光斑垂直入射到探测器上，这样通过探测就可以获得曝光场上各处的位置信息。

主权项

一种物体位置测量装置，包括照明单元，投影单元，接受单元，探测单元，其中，照明单元产生测量光，探测单元根据经被测物体面反射的测量光信号来确定被测物体的位置，其特征在于：所述物体位置测量装置还包括扫描单元，前补偿单元和后补偿单元；所述前补偿单元和所述后补偿单元包含多个在空间上按梯级分布排列的补偿反射镜；其中扫描单元控制测量光在被测物体面上沿一维方向或二维方向移动，以实现被测物体面的全场扫描；所述前补偿单元在光路上位于投影单元之前，对投影单元的入射光进行光程补偿；所述后补偿单元在光路上位于接受单元之后，对接受单元的出射光进行光程补偿，前补偿单元中心位于扫描单元焦点处且各反射镜中心线构成的面与扫描单元焦平面成一夹角且构成上述夹角的两面的交线与扫描单元扫描轴平行。