一种对准光源装置

摘要

本发明提出一种对准光源装置，包括至少两套波长不同的激光单元，所述激光单元包括激光器、光强调制器、相位调制器以及传输光纤，在光束的光路上放置一光束整形装置，所述光束整形装置包括第一、第二旋光片，第一、第二偏振分束器，第一、第二整形器件以及第一、第二反射镜。本发明缩小了激光光斑，提高了照射在对准标记上的激光光能利用率及对准信号强度，提高了对准信号信噪比，有利于提高对准精度。

主权项

一种对准光源装置，包括至少两套波长不同的激光单元，所述激光单元至少包括一激光器，其特征在于：在所述激光器发出的光束的光路上放置一光束整形装置，用于缩小光束光斑，所述光束整形装置包括：第一旋光片和第二旋光片，分别位于所述光束整形装置的两端，光束经所述第一旋光片进入所述光束整形装置，经所述第二旋光片射出；第一偏振分束器和第二偏振分束器，沿光路方向设置于所述第一旋光片和所述第二旋光片之间；第一整形器件和第二整形器件，位于所述第一偏振分束器和所述第二偏振分束器之间；第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜将所述第一偏振分束器的反射出射光反射进入所述第二整形器件，所述第二反射镜将所述第二整形器件的出射光反射进入所述第二偏振分束器或者将所述第一整形器的出射光反射进入所述第二偏振分束器。