一种基于泰伯效应的非球面检测系统

摘要

本发明公开的基于泰伯效应的非球面检测系统，包括半导体激光器、显微物镜、准直物镜、第一、第二反射镜、待测非球面镜、分光棱镜、第一、第二光栅、毛玻璃片、CCD相机、图像采集卡和计算机。半导体激光器发出的光束经显微物镜和准直物镜准直扩束后，经由第一反射镜和分光棱镜折转光路后入射到待测非球面镜某一采样位置，经过第二反射镜反射后再通过分光棱镜入射到第一光栅上，在其泰伯距离上形成泰伯像，同时在泰伯像的位置放置第二光栅，第一光栅的泰伯像和第二光栅形成莫尔条纹。CCD相机和图像采集卡采集莫尔条纹移动数目，再由计算机通过波面拟合重构出非球面面型。本发明结构简单，可实现大口径或者面型比较陡峭的非球面镜的高精度检测。

主权项

一种基于泰伯效应的非球面检测系统，其特征在于包括半导体激光器(1)、显微物镜(2)、准直物镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、待测非球面镜(6)、分光棱镜(7)、第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃片(10)、CCD相机(11)、图像采集卡(12)、计算机(13)和挡光板(14)。半导体激光器(1)发出的光束经显微物镜(2)和准直物镜(3)准直扩束后，照射到第一反射镜(4)，第一反射镜(4)的反射光束由分光棱镜(7)分成两路光束，在其中一路光束的光轴上依次放置待测非球面镜(6)和第二反射镜(5)，另一路光束的光轴上依次放置第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃(10)和CCD相机(11)，CCD相机(11)的信号输出端经图像采集卡(12)与计算机(13)相连，挡光板(14)位于显微物镜(2)、准直物镜(3)和第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃片(10)之间。