发明名称 发光装置以及该发光装置的制造方法
摘要 本发明的目的之一在于提供一种发光装置以及该发光装置的制造方法,在该发光装置中,在同一衬底上形成有多种电路,并具备分别对应于多种电路的特性的多种薄膜晶体管。作为用于像素的薄膜晶体管,使用具有重叠于源电极层及漏电极层上的氧化物半导体层的反共面型。作为用于驱动电路的薄膜晶体管,使用沟道停止型。在与用于像素的薄膜晶体管电连接的发光元件重叠的位置上且在薄膜晶体管和发光元件之间设置滤色片层。
申请公布号 CN101996989A 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN201010246771.0 申请日期 2010.08.04
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;坂仓真之;坂田淳一郎;津吹将志;秋元健吾;细羽幸;及川欣聪
分类号 H01L27/02(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 申发振
主权项 一种发光装置,包括:衬底上的像素部,包括:第一薄膜晶体管,包括:所述衬底上的栅电极层;所述栅电极层上的栅极绝缘层;所述栅极绝缘层上的源电极层及漏电极层;以及所述栅极绝缘层上的与所述源电极层及所述漏电极层重叠的氧化物半导体层,与所述氧化物半导体层接触的氧化物绝缘层;所述氧化物绝缘层上的与所述漏电极层电连接的连接电极层;所述氧化物绝缘层上的滤色片层;所述滤色片层上的与所述连接电极层电连接的第一电极;所述第一电极上的发光层;以及所述发光层上的第二电极,所述衬底上的驱动电路,包括具有与所述第一薄膜晶体管的结构不同的结构的第二薄膜晶体管,其中,所述栅电极层、所述栅极绝缘层、所述氧化物半导体层、所述源电极层、所述漏电极层、所述氧化物绝缘层及所述第一电极具有透光性。
地址 日本神奈川