发明名称 连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术
摘要 本发明公开了一种连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术,主要由安装有原料进气口管和液态产品(高纯乙硼烷)取出管的吸附精馏塔、一端连接安装有高沸点杂质排放管的再沸器,另一端连接安装有低沸点杂质排放管的冷凝器,冷凝器与产品接受器连接,总装一体而构成。工艺合理,制备简单,而且生产的四氟化硅纯度高,并解决了环境污染问题,是理想的四氟化硅制备技术。
申请公布号 CN101993082A 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN201010508054.0 申请日期 2010.10.15
申请人 天津市泰源工业气体有限公司 发明人 李中元
分类号 C01B33/107(2006.01)I 主分类号 C01B33/107(2006.01)I
代理机构 天津市杰盈专利代理有限公司 12207 代理人 张遂胜
主权项 一种连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术,其特征在于:安装有原料进气口管和液态产品(高纯乙硼烷)取出管的吸附精馏塔、一端连接安装有高沸点杂质排放管的再沸器,另一端连接安装有低沸点杂质排放管的冷凝器,冷凝器与产品接受器连接,总装一体而构成。
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