发明名称 |
连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术 |
摘要 |
本发明公开了一种连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术,主要由安装有原料进气口管和液态产品(高纯乙硼烷)取出管的吸附精馏塔、一端连接安装有高沸点杂质排放管的再沸器,另一端连接安装有低沸点杂质排放管的冷凝器,冷凝器与产品接受器连接,总装一体而构成。工艺合理,制备简单,而且生产的四氟化硅纯度高,并解决了环境污染问题,是理想的四氟化硅制备技术。 |
申请公布号 |
CN101993082A |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN201010508054.0 |
申请日期 |
2010.10.15 |
申请人 |
天津市泰源工业气体有限公司 |
发明人 |
李中元 |
分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/107(2006.01)I |
代理机构 |
天津市杰盈专利代理有限公司 12207 |
代理人 |
张遂胜 |
主权项 |
一种连续精馏方式制备高纯四氟化硅方法的工艺技术,其特征在于:安装有原料进气口管和液态产品(高纯乙硼烷)取出管的吸附精馏塔、一端连接安装有高沸点杂质排放管的再沸器,另一端连接安装有低沸点杂质排放管的冷凝器,冷凝器与产品接受器连接,总装一体而构成。 |
地址 |
300385 天津市西青开发区大寺工业园鸿泽路12号 |