设备的误差辨识方法和误差辨识程序

摘要

本发明提供设备的误差辨识方法和误差辨识程序，在具有两根以上的平移轴和一根以上的旋转轴的设备中，大致同时地辨识与旋转轴相关的几何误差以及与平移轴相关的几何误差。将作为旋转轴的C轴等分度为多个角度并将目标球(12)定位于多个部位，通过位置检测传感器检测目标球(12)在三维空间上的中心位置，并对所检测到的多个中心位置检测值进行圆弧近似，根据近似得到的圆弧的一次分量或二次分量等计算C轴等的中心位置误差和倾斜误差、以及作为平移轴的X轴、Y轴等的倾斜误差。

主权项

一种设备的误差辨识方法，该设备的误差辨识方法为通过控制装置对具有两根以上的平移轴和一根以上的旋转轴的设备的与所述平移轴和所述旋转轴相关的几何学误差进行辨识的方法，其特征在于，该设备的误差辨识方法包括：检测步骤，将所述旋转轴分度为多个角度并将被测定件定位于多个部位，通过位置检测传感器检测所述被测定件在三维空间上的位置；圆弧近似步骤，将在所述检测步骤中所检测到的多个位置检测值进行圆弧近似；以及误差计算步骤，根据在所述圆弧近似步骤中近似得到的圆弧计算所述旋转轴的中心位置误差和/或所述旋转轴的倾斜误差、以及所述平移轴的倾斜误差。